Ključni materiali, ki se uporabljajo v tarčah za razprševanje tankoplastnih premazov

Postopek razprševanja upari izvorni material, imenovan tarča, da se na izdelke, kot so polprevodniki, steklo in zasloni, nanese tanek, visokozmogljiv film. Sestava tarče neposredno določa lastnosti premaza, zato je izbira materiala ključnega pomena.

Uporablja se široka paleta kovin, vsaka izbrana zaradi specifičnih funkcionalnih prednosti:

Temeljne kovine za elektroniko in vmesne sloje

Visoko čist baker je cenjen zaradi svoje izjemne električne prevodnosti. Tarče iz 99,9995 % čistega bakra so bistvene za ustvarjanje mikroskopskih povezav (medsebojnih povezav) znotraj naprednih mikročipov, kjer je minimalna električna upornost bistvenega pomena za hitrost in učinkovitost.

Visoko čist nikelj služi kot vsestranski delovni konj. Uporablja se predvsem kot odlična adhezijska plast in zanesljiva difuzijska ovira, ki preprečuje mešanje različnih materialov in zagotavlja strukturno celovitost ter dolgo življenjsko dobo večplastnih naprav.

Ognjevzdržne kovine, kot sta volfram (W) in molibden (Mo), so cenjene zaradi visoke toplotne odpornosti in stabilnosti, pogosto pa se uporabljajo kot robustne difuzijske ovire in za kontakte v zahtevnih okoljih.

Specializirane funkcionalne kovine

Visoko čista srebrna kovina ponuja najvišjo električno in toplotno prevodnost. Zaradi tega je idealna za nanašanje visoko prevodnih, prozornih elektrod v zaslonih na dotik in briljantno odsevnih, nizkoemisivnih premazov na energetsko varčnih oknih.

Plemenite kovine, kot sta zlato (Au) in platina (Pt), se uporabljajo za zelo zanesljive, proti koroziji odporne električne kontakte in v specializiranih senzorjih.

Prehodne kovine, kot sta titan (Ti) in tantal (Ta), so ključne zaradi svojih odličnih oprijemnih in pregradnih lastnosti, saj pogosto tvorijo temeljno plast na substratu, preden se nanesejo drugi materiali.

Čeprav ta raznolika zbirka materialov omogoča sodobno tehnologijo, ostajajo baker in srebro neprekosljivi glede prevodnosti, nikelj glede zanesljivosti in srebro glede vrhunske odbojnosti v svojih aplikacijah. Dosledna kakovost teh visoko čistih kovin je temelj visokozmogljivih tankoplastnih premazov.